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【2h】

Fabrication of miniaturized fluidic devices using SU-8 based lithography and low temperature wafer bonding

机译：使用基于sU-8的光刻和低温晶片键合制造小型化流体装置

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P. Svasek A; E. Svasek A; B. Lendl B; M. Vellekoop C;
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年度 2004
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1. Fabrication of miniaturized fluidic devices using SU-8 based lithography and low temperature wafer bonding [J] . Svasek P, Svasek E, Lendl B, Sensors and Actuators, A. Physical . 2004,第2a3期

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3. Fabrication of micro/nano fluidic channels by nanoimprint lithography and bonding using SU-8 [J] . Rong Yang, Bing-Rui Lu, Jing Wan, Microelectronic Engineering . 2009,第4a6期

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